高純度氧化鋁陶瓷機(jī)械手臂 高純度氧化鋁陶瓷機(jī)械手臂被用在半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)過程中，主要是用來抓取晶圓，通常采用高純的氧化鋁制作，也可以使用碳化硅陶瓷制作，它也被稱為“末端執(zhí)行器”（半導(dǎo)體陶瓷）。高純度氧化鋁陶瓷機(jī)械手臂是晶圓轉(zhuǎn)運(yùn)過程中必須用到的一