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高純度氧化鋁陶瓷機械手臂
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產品名稱

高純度氧化鋁陶瓷機械手臂

加工精度 0.005mm
是否定制 按圖定制
粗糙度 Ra0.3
材料成分 99.7-99.8氧化鋁陶瓷
我要定制 按客戶需求接受定制;歡迎來廠參觀!
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高純度氧化鋁陶瓷機械手臂

高純度氧化鋁陶瓷機械手臂被用在半導體晶圓生產過程中,主要是用來抓取晶圓,通常采用高純的氧化鋁制作,也可以使用碳化硅陶瓷制作,它也被稱為“末端執行器”(半導體陶瓷)。高純度氧化鋁陶瓷機械手臂是晶圓轉運過程中必須用到的一款產品,對材料的要求和加工精度的要求都非常高,鈞杰陶瓷擁憑借專業的技術團隊和專用設備,采用高純氧化鋁陶瓷材料,經過多道工序精密加工而成。目前我們有能力生產2-12寸各型號陶瓷機械手臂,以下是我司生產的幾款產品的展示。

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晶圓加工中對“氧化鋁陶瓷機械手臂”的需求以及它必須具備的特性
氧化鋁陶瓷機械手臂用于在不同的位置之間轉運移動半導體晶片。相當于是機器人的手臂,這種工作性質 要求它具有熱穩定性和尺寸穩定性,持久性的同時不會被顆粒或化學污染物污染腔室。


使用氧化鋁陶瓷而不是鋁金屬有哪些主要優點?
高純度的氧化鋁陶瓷因其剛度和高強度而被選擇制作成機械手臂,這意味著機器人手臂比鋁更快地固定到其最終位置。此外,機器人本身的運動速度更快,優化了定位精度并提高了效率。

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